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标题: 《超高真空技术》PDF [打印本页]

作者: la999    时间: 2008-6-15 11:25
标题: 《超高真空技术》PDF
超高真空技术
- |; g, Z0 m! ]3 f! ~# p- J' t# ?作者:邱爱叶,邵健中编著
7 g$ @+ W4 ^6 U出版项:浙江大学出版社 / 1991.8
1 s; a0 J8 a4 M原书定价:¥2.65* `- e& X' G+ T# m. z$ |7 O
无装帧项:20cm / 241页9 ^7 `1 x  v9 `% h. R1 i
ISBN号:73080074** / TB751
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[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 编辑 ]
作者: 骆马湖铁匠    时间: 2024-3-5 10:53
好资料,感谢la999
作者: a1666898466    时间: 2024-4-17 13:32
1.对检漏方法的一般要求. o( N( x. k% k2 M2 c! b1 Z
(1)检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;
, T( J  g+ U0 ~0 A! X/ z6 [& J(2)反应时间短,可以提高工作效率;
2 Z* X2 I* k% [( K* r8 o(3)能定位、定量,即不仅能够找出漏孔的位置,还能确定漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;
/ ?! m4 W, ]% n0 l6 K(4)能无损检漏,不使被检设备受到损坏和污染;
: r. q* t7 w( }# n2 c! _(5)稳定性好,即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠;% L/ N' b; k9 H  y6 _
(6)所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件;7 `; R7 `; I) `8 T% q
(7)检漏范围大,从大漏孔到小漏孔都能检测,以减少检漏设备的数量和费用;- V6 E& ^+ l0 j' W0 ^1 R! J7 f
(8)检漏时应洁净无油,满足一些特殊要求。
& _1 c! u! Y3 l, S2 Z7 t2.选择检漏方法的原则
2 n0 Z0 {6 E$ g: t(1)主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合,为找到一个单个漏孔,所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1~2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W,而必须选用的检漏灵敏度为10-12~10-13W;; A; o5 n1 z* f9 o
(2)根据具体被检对象,所用方法简便易行、经济实用。1 `$ |# u% W3 N0 K- `/ H
3.检漏方法的分类' e! `; D( |. N
按被检容器所处的状态可分为两大类,即加压检漏法和真空检漏法。
: V/ j  g4 J; h5 `0 n# }9 N" b(1)加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体(称试验气体或者探漏气体)或液体,当容器上存在漏孔时,气体(或液体)便从漏孔中逸出,从哪里逸出,逸出量的多少等,就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有:
# X4 [& {  q* ^$ g6 C0 p6 R水压法:将清洁的水压入被检容器中,一般水压在2~3个大气压左右,观察容器外壁有无水珠出现,根据水珠出现的位置大小和快慢,来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
4 D# Q& ?5 B: F  l/ t气压法:将试验气体(空气或其他气体)压入被检容器,在外面检查有无气体逸出,具体方法有:火焰、气泡指示法(水槽法、皂膜法);氨检漏法;卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是,金属铂在高温(常用850~950℃)下产生正离子发射(主要是碱金属离子),这种发射遇到卤素气体时急剧增加,依据这个现象可以制成一种检漏仪器,即卤素检漏仪。
& r2 |$ x1 G1 B- D/ z2 n. ~3 b铂的离子发射现象被设置在一个探头中,探头是一支二极电子管结构,加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管,后部安装吸气风扇,使用时不断吸进气体,工作时二极管的阳极由灯丝加热到850~950℃,阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子,离子电流由电子电路放大后,用仪表指示,考虑到检漏时无暇观察仪表指示
$ q; K# S- v' p0 R! j4 k示漏气体多用氯的卤化物,如氟利昂、氯仿、四氯化碳等,其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时,卤素气体充于被检件内,用外探头在外部( l& M5 L; d  M; T! q& ^' d' u
寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔,工业产品一般为10-6~10-7Pa·m3/s。9 z. V1 `7 ?' }/ l  |" d
(2)真空检漏法。将被检容器内部抽空后,再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔,试验物质便通过漏孔7 ~2 w( b5 k* w
进入容器,通过一些方法或仪器指示出来,从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有:静态升压法;放电管法;真空计法;氢-钯法;离子泵法;高频火花检漏法;卤素检漏法;质谱检漏法。其中离子泵检漏法是,溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低,因此,类似于电离真空计的方法,用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。




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