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标题: 一个用于半导体行业的清洗方案，社友帮我看看可行吗 [打印本页]

作者: 丹枫911 时间: 2014-5-25 21:15
标题: 一个用于半导体行业的清洗方案，社友帮我看看可行吗
一个用于半导体行业的清洗方案，用来清洗晶圆片，用高压水清洗，伺服电机带动晶圆片旋转，1000多转每分钟，晶圆片真空吸附，大家看看主轴旋转这个结构怎么样，基准板是焊接到机架上的，打算焊接后再加工一刀。

作者: 迷茫的维修 时间: 2014-5-25 21:19
没看清，感觉类似立车的主轴
你参考一下
再有就是，你想得到什么样的精度
选什么样的轴承
端跳，经跳
需要考虑什么工况，盘子会不会飘？
纯属瞎猜

作者: 走路empty 时间: 2014-5-25 23:04
蓝宝石？
可以参考涂胶机清洗结构

作者: 亂试佳人 时间: 2014-5-26 08:31
我看错了，我以为你要清洗这个行业呢！

作者: 八点半 时间: 2014-5-26 10:47
就一个普通转台就行啊，也不需要太大的精度吧！

作者: 丹枫911 时间: 2014-5-26 22:54

八点半发表于 2014-5-26 10:47
就一个普通转台就行啊，也不需要太大的精度吧！

精度要求不高，主要动平衡要好，还有真空吸附要效果好

作者: 沉睡的红枫叶 时间: 2014-5-27 22:14
值得学习

作者: desa2002 时间: 2014-5-28 08:29
学习

作者: 我很爱机械设计 时间: 2014-5-28 09:21
路过学习～

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