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标题: 光学轮廓仪的测量精度怎样，与接触式轮廓仪比较呢？ [打印本页]

作者: spaceship 时间: 2014-3-8 14:31
标题: 光学轮廓仪的测量精度怎样，与接触式轮廓仪比较呢？
请教，光学轮廓仪的测量精度怎样？与接触式轮廓仪比较呢？

作者: JXTTTTT 时间: 2018-8-6 14:59
我又来赚威望啦！！！

作者: byh945 时间: 2019-8-27 10:32
目前光学测量分辨率能达到纳米级别

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