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标题: 了解靶材的朋友进来聊聊把 [打印本页]

作者: jayrain 时间: 2012-9-13 18:23
标题: 了解靶材的朋友进来聊聊把
不知发这里合适不咯，对这一块确实是小白，和朋友聊他说国内的靶材不行。请了解靶材的朋友随便聊聊，行业情况、制造工艺、造好靶材的难度在哪里？

作者: changkongceyi 时间: 2012-9-25 09:13
靶材的杂质元素不好控制....

作者: jayrain 时间: 2012-9-25 20:52

changkongceyi 发表于 2012-9-25 09:13 % @) U$ T8 ~0 {, O& J
靶材的杂质元素不好控制....

这个有所听说，象杂质元素，那气孔什么的，还有里面气体组分影响大不

作者: changkongceyi 时间: 2012-9-26 08:19

jayrain 发表于 2012-9-25 20:52 4 O% P& s3 X, V2 q; \
这个有所听说，象杂质元素，那气孔什么的，还有里面气体组分影响大不

肯定会有影响，靶材气孔内气体参与溅射，那镀制的膜就有化合物成分，跟要求溅射的膜成分不一样，与基材的附着力也就有区别了，纯度肯定也就降下来了

作者: jayrain 时间: 2012-9-26 11:03

changkongceyi 发表于 2012-9-26 08:19
" }# O9 K' N3 X! z肯定会有影响，靶材气孔内气体参与溅射，那镀制的膜就有化合物成分，跟要求溅射的膜成分不一样，与基材的 ...

前辈做哪块的？对靶材制造工艺这块有没有合适的书籍或手册，或者扫盲性质的也行。我现在对这个只有个大概粗略轮廓。

作者: changkongceyi 时间: 2012-9-26 16:03
{:soso_e127:}不敢当，我接触磁控溅射没多久，靶材说白了就是高纯度的材料（金属跟非金属），纯度其实就是冶炼跟加工过程中杂质元素的控制，个人理论书籍看看材料的就行，可以在必威体育网址材料必威APP精装版下载多晃荡晃荡，他们才是真的前辈跟高手

作者: jayrain 时间: 2012-9-27 08:55

changkongceyi 发表于 2012-9-26 16:03
) i9 e, i2 c! L不敢当，我接触磁控溅射没多久，靶材说白了就是高纯度的材料（金属跟非金属），纯度其实就是冶 ...

嗯，谢谢了。得看看。没搞过材料，感觉水还蛮深纳。

作者: changkongceyi 时间: 2012-9-27 09:47

jayrain 发表于 2012-9-27 08:55
3 N# L9 H5 B5 f嗯，谢谢了。得看看。没搞过材料，感觉水还蛮深纳。

呵呵，那就从铁碳合金开始吧，看完这个就知道铁靶的杂质元素、金相组织；然后就可以进一步思考：如何从工艺上提高靶材的纯度（影响因素会很多，想想就明白为啥国产靶材不如进口的了,这当然也是整个国产材料的现状....)

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