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标题: 真空泄露？真空腔体 [打印本页]

作者: 小袁好累 时间: 2024-7-1 09:01
标题: 真空泄露？真空腔体
请教大家一个真空不保压的问题？腔室16L，真空腔体在出厂检验过漏气率6.2*10-2次方pa.L/s
腔体主要材质是304不锈钢，腔体的门板是铝合金，内表面电解抛光过。
现在情况是，空抽，介质是空气，关闭挡板阀后，理论来说是保压状态，
但结果是关闭挡板阀就开始升压，从10pa缓慢升压，至10小时后升压到150pa
后面再次腔体捡漏却没有发现漏点，对了，总共抽真空20几次，都是用常规空气破真空的

作者: gunianyisheng 时间: 2024-7-16 13:28
有没有可能真空内部虚漏

作者: gunianyisheng 时间: 2024-7-16 13:29
常规空气吸附在内壁，造成虚漏，或者其他部件放气

作者: ericshen12 时间: 2024-7-19 19:39

gunianyisheng 发表于 2024-7-16 13:29
常规空气吸附在内壁，造成虚漏，或者其他部件放气

你好啊，这方面资料是在什么书籍上有介绍啊。

作者: 骆马湖铁匠 时间: 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好，普通的正常做出来的背景值可以达到5E-9Pa.m³/s

作者: 游离缙云 时间: 2024-7-22 16:26
内壁有没有抛光，焊接是内焊吗，有没有死角储存有空气？

作者: 小火鹰 时间: 2024-9-5 10:10
烘烤过吗

作者: 小袁好累 时间: 2024-11-19 15:00

gunianyisheng 发表于 2024-7-16 13:28
有没有可能真空内部虚漏

有点怀疑是燕尾槽O型圈哪里没有开个连通的槽，让燕尾槽与腔体内部连接，抽真空的时候顺便把燕尾槽夹层的空气也抽走，这样减少内部虚漏的可能

作者: 小袁好累 时间: 2024-11-19 15:02

gunianyisheng 发表于 2024-7-16 13:29
常规空气吸附在内壁，造成虚漏，或者其他部件放气

里面没有其他零件，空抽，密封件采用的低放气率的氟橡胶，之前有150度烘烤1小时脱气过

作者: 小袁好累 时间: 2024-11-19 15:05

骆马湖铁匠发表于 2024-7-20 08:01
腔室做的不是很好，普通的正常做出来的背景值可以达到5E-9Pa.m³/s

我也觉得供应商做的不行，感觉电解抛光做的不好，你这个漏率要求我在磁控溅射上看到过，我这个闪蒸要求不是很高，之前要求E-4pa L/S，供应商都达不到

作者: 小袁好累 时间: 2024-11-19 15:06

游离缙云发表于 2024-7-22 16:26
内壁有没有抛光，焊接是内焊吗，有没有死角储存有空气？

长方体结构的腔室，内表面铝合金材质和304不锈钢都电解抛光过，铝合金电解之前还做了阳极氧化，不清楚这两个表处会不会反应，出现问题

作者: 小袁好累 时间: 2024-11-19 15:07

小火鹰发表于 2024-9-5 10:10
烘烤过吗

150度烘烤1小时过

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