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标题: 设备内部如何控制洁净度要求达到class10标准 [打印本页]

作者: 海军风蝴蝶结 时间: 2024-5-31 23:23
标题: 设备内部如何控制洁净度要求达到class10标准
各位大佬求助一下，半导体设备内部要求运动的时候洁净度等级要达到class10，有没有知道要如何入手，以及应该测哪些位置，一定要所有位置都达到classq10吗？怎么确定测哪些点

作者: hxglty 时间: 2024-6-1 08:53
加过滤，加抽风，用符合要求的材料和运动方式

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