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标题: 定位精度0.1μm以内的运动机构 [打印本页]

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-17 11:55
标题: 定位精度0.1μm以内的运动机构
1.想请教下有没有了解气浮导轨的？气浮导轨都是自行设计制作没有单卖的吗？
2.想学习下激光切割这类，有没有书籍推荐下？
3.抗振这块的设计，要怎么下手？现在我纯粹靠经验，心理没底。

作者: duduxiaozi32 时间: 2023-10-17 12:08
气浮导轨有卖现成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多长的导轨，一般国内很难达到，能到0.2μm/200mm就不错了。

作者: hitiger 时间: 2023-10-17 12:13

|duduxiaozi32发表于 10-17 12:08气浮导轨有卖现成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多长的导轨，一般国内很难达到，能到0.2μm/200mm就不错了。

请问气浮导轨是什么？淘宝没收到。

作者: duduxiaozi32 时间: 2023-10-17 12:15

hitiger 发表于 2023-10-17 12:13
请问气浮导轨是什么？淘宝没收到。

淘宝估计不卖这个，比较贵，用于超精密加工行业。静压导轨可以搜搜，别淘宝搜

作者: 东海fyh126 时间: 2023-10-17 13:34
吓尿了，，，0.几μm。。。。。

作者: 落泪小丑 时间: 2023-10-17 13:57
大佬从事什么工作啊？用到这样的精度。

作者: ytzhanggj007 时间: 2023-10-17 14:08
就算这个导轨是磁悬浮的，丁点阻力也没有，这个精度也不是由导轨决定的，而是看驱动机构的精度。不知道你这什么用途，光刻机？

作者: Dreaming___snai 时间: 2023-10-17 14:12
直线电机+光栅尺可能会达到这个精度

作者: jumbone 时间: 2023-10-17 14:16
人比人得死，货比货得扔啊，1μ的精度我都不会搞，你们都开始搞0.1μ了；

作者: 养猪东篱下 时间: 2023-10-17 15:06
0.1微米，用什么设备检测？

作者: 斯文棒棒 时间: 2023-10-17 15:15
1微米的都不好搞，这特么都到0.1微米了，要怎么搞啊?会搞死人的。

作者: 麦哥123 时间: 2023-10-17 15:33
看CCTV大国工匠节目介绍，可以用急停控制精度，我觉得并不是难题。一个急停不行，那就上两个

作者: 亮点 时间: 2023-10-17 15:35

麦哥123 发表于 2023-10-17 15:33
看CCTV大国工匠节目介绍，可以用急停控制精度，我觉得并不是难题。一个急停不行，那就上两个

不好意思，笑出声，左邻右舍都在上班

作者: mhfx2020 时间: 2023-10-17 16:20
量程是要？

作者: 尹志春 时间: 2023-10-17 16:26

Dreaming___snai 发表于 2023-10-17 14:12
直线电机+光栅尺可能会达到这个精度

直线电机有精度？光栅你能买到精度高于0.02的？

作者: 麦哥123 时间: 2023-10-17 16:50

尹志春发表于 2023-10-17 16:26
直线电机有精度？光栅你能买到精度高于0.02的？

春哥，你不是说你可以加工0.01精度吗？

作者: 尹志春 时间: 2023-10-17 16:52

麦哥123 发表于 2023-10-17 16:50
春哥，你不是说你可以加工0.01精度吗？

不说做，你能测量出直径300的圆的，真圆度吗，不说加工，深圳所有的加工厂，有一家算一家，哪家有能力测量，连测量都没有，谈什么做，

作者: xfxywzy 时间: 2023-10-17 17:05
回答第一个问题：
气浮导轨目前的应用还挺多的，深圳这边工业展你去看看都能看到。其实现在比较主流的是气浮平台，就是把气浮技术集成到传统的X-Y平台上来做精密控制。如果是0.1um的话，如果负载不大，微型精密丝杆和超精密直线电机都可以达到的。

所以如果是气浮平台的话分为分体式用气浮脚座的，和一体式直接用大理石或特殊钢材的。气浮脚座和气浮块你可以参考Newway这个品牌。

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-17 17:13

duduxiaozi32 发表于 2023-10-17 12:08
气浮导轨有卖现成的，但是定位精度在0.1μm的看你要多长的导轨，一般国内很难达到，能到0.2μm/200mm就不错 ...

老师，有没有品牌推荐？

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-17 17:19

mhfx2020 发表于 2023-10-17 16:20
量程是要？

500㎜

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-17 17:36

尹志春发表于 2023-10-17 16:52
不说做，你能测量出直径300的圆的，真圆度吗，不说加工，深圳所有的加工厂，有一家算一家，哪家有能力测 ...

老师，请教下。你们直线电机和驱动器，还有光栅用什么品牌？
另外您在定位0.1微米以上的精度，电机整定时间能做到多少？

作者: 2902007034 时间: 2023-10-17 17:37

hitiger 发表于 2023-10-17 12:13
请问气浮导轨是什么？淘宝没收到。

气浮导轨精度很高的，导轨上面好像是微小的气孔，这一套xy轴气浮台，估计成品大概在20w-30w左右国产

作者: 喂我袋盐 时间: 2023-10-17 17:40

ytzhanggj007 发表于 2023-10-17 14:08
就算这个导轨是磁悬浮的，丁点阻力也没有，这个精度也不是由导轨决定的，而是看驱动机构的精度。不知道你这 ...

先问lz预算。

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-17 19:06

2902007034 发表于 2023-10-17 17:37
气浮导轨精度很高的，导轨上面好像是微小的气孔，这一套xy轴气浮台，估计成品大概在20w-30w左右国产

国产有没有推荐品牌？

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-17 19:07

喂我袋盐发表于 2023-10-17 17:40
先问lz预算。

单机台设备售价接近一千万。成本目前评估能够覆盖。

作者: beta_ling 时间: 2023-10-17 23:18

原始人的锤子发表于 2023-10-17 19:07
单机台设备售价接近一千万。成本目前评估能够覆盖。

这么高价值的设备, 可以上气浮平台, 宏运动+微运动+激光干涉测距, 控制好振动, 100nm没问题. 参考光刻机结构

作者: mhfx2020 时间: 2023-10-18 08:37

原始人的锤子发表于 2023-10-17 17:19
500㎜

苏大维格，可以问问

作者: 2902007034 时间: 2023-10-18 09:37

原始人的锤子发表于 2023-10-17 19:06
国产有没有推荐品牌？

地心科技，用着还可以

作者: Dreaming___snai 时间: 2023-10-18 10:38

尹志春发表于 2023-10-17 16:26
直线电机有精度？光栅你能买到精度高于0.02的？

上家公司做过三坐标，直线电机+光栅尺+气浮导轨还得配软件参数补偿，是可以达到微米级的，不过对环境要求特别高，包括振动噪声以及温湿度
(, 下载次数: 88) (, 下载次数: 80)

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-18 17:39

beta_ling 发表于 2023-10-17 23:18
这么高价值的设备, 可以上气浮平台, 宏运动+微运动+激光干涉测距, 控制好振动, 100nm没问题. 参考光刻机 ...

请教下，现在有激光干涉仪，但是用在组装和测试时候。这玩意还能在线工作？

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-18 17:41

beta_ling 发表于 2023-10-17 23:18
这么高价值的设备, 可以上气浮平台, 宏运动+微运动+激光干涉测距, 控制好振动, 100nm没问题. 参考光刻机 ...

振动这块该怎么入手？现在知道一些配件可以抑振。但是不知道效果能否达到目标值。

作者: 喂我袋盐 时间: 2023-10-18 18:47

原始人的锤子发表于 2023-10-17 19:07
单机台设备售价接近一千万。成本目前评估能够覆盖。

1000万，可以上顶级了。

作者: LatersM 时间: 2023-10-18 19:39

原始人的锤子发表于 2023-10-18 17:39
请教下，现在有激光干涉仪，但是用在组装和测试时候。这玩意还能在线工作？

原理一样，用途不一样，你说那种是用来调机的。
也有专门检测轴位置，就跟光栅尺一样，反馈当前位置给控制系统。

作者: 原始人的锤子 时间: 2023-10-18 20:29

LatersM 发表于 2023-10-18 19:39
原理一样，用途不一样，你说那种是用来调机的。
也有专门检测轴位置，就跟光栅尺一样，反馈当前位置给控 ...

请教下下，对减振避振，要怎么下手。现在我完全凭经验。

作者: 周经理 时间: 2023-10-18 21:28
造芯片用吗

作者: beta_ling 时间: 2023-10-19 10:26

原始人的锤子发表于 2023-10-18 17:41
振动这块该怎么入手？现在知道一些配件可以抑振。但是不知道效果能否达到目标值。

首先, 厂房修建做好地基隔离减振措施, 其次设备底座可以增加主动减振装置, 然后设备本身移动部件均使用平衡块稳定质心, 最后机架均使用灰口铸铁等减振阻尼材料制作. 厂房环境温度要控制在22℃±1℃, 机器内部控制在22℃±0.1℃

作者: jijie2012 时间: 2023-10-19 11:38
本帖最后由 jijie2012 于 2023-10-19 11:52 编辑

作者: yioa 时间: 2023-10-20 13:02
学习学习

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