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标题: 硅片甩干的转速一般为多少？ [打印本页]

作者: Godzera711 时间: 2021-12-4 21:16
标题: 硅片甩干的转速一般为多少？
如题，单片式的湿法刻蚀机在刻蚀、用离子水清洗硅片后的甩干速度一般为多少呢？小于1000rpm需要多久的甩干时间啊有大佬知道吗

作者: 东北制造 时间: 2021-12-5 06:34
加温

作者: 远祥 时间: 2021-12-7 22:08
这个最好是现场实物测量一下。。。

作者: s453575112 时间: 2021-12-8 09:05
一般在2000-3000rpm 时间在30s左右对于 8寸wafer

作者: Godzera711 时间: 2021-12-8 20:36

s453575112 发表于 2021-12-8 09:05
一般在2000-3000rpm 时间在30s左右对于 8寸wafer

好的，谢谢您

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