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标题: 关于真空吸附装置、气动旋转接头 [打印本页]

作者: Godzera711 时间: 2021-7-11 17:07
标题: 关于真空吸附装置、气动旋转接头
目前，我要做一个真空吸附装置，用真空吸盘来吸附硅晶片，而且真空吸盘会随着电机轴一起旋转，原理图如图1所示，因为考虑到气管会和电机轴缠绕在一起，因此考虑在电机轴和真空吸盘之间加一个气动旋转接头，因为真空吸盘转速会达到3000-4000rpm，所以得定制高速的旋转接头，所以我在想有没有更简单的方法。现有的使用案例，如图2所示，红色圈里的这个接头是属于定制的气动旋转接头吗？哪里可以买到呢？因为只有图片，不太了解这个具体的结构原理，就看着这个接头比较简单，而且可以实现我上面说的原理。有懂的老哥可以指点一下啊？
图3，4,5是另外一个设备的结构，主要关注电机轴和上面的接头，可以看到图中的电机轴做成了空心状的，其实也是为了实现真空吸附，关于图中的接头结构、原理以及轴做成了空心的，有了解的老哥指点一下吗？
其实我就是想找到图2或者图5的这种接头，来复现这种产品。我表达的有点乱，我空间也发过类似的帖子，可以借助来理解，希望大佬指点，有更好的方案也可以提出来，谢谢啦！

作者: LiNing_jrjub 时间: 2021-7-11 17:18
本帖最后由 LiNing_jrjub 于 2021-7-11 17:20 编辑

旋转密封，一直都是个难题。而且你这个还是高速旋转密封
SMC的高速旋转密封接头最高也就1500转,达不到你的要求
建议你采取抽真空的方式，在旋转端设置小型真空罐
在旋转启动之前，进行抽真空，旋转结束之后，破真空取件

作者: xue428032 时间: 2021-7-11 17:32
本帖最后由 xue428032 于 2021-7-11 17:39 编辑

买标准的气动滑环,好像没那么高转速的

作者: 晓昀 时间: 2021-7-11 23:38
有专门做旋转接头的，在网上找。

作者: cnct 时间: 2021-7-12 08:24
网上淘宝有大把的，你搜下

作者: 谦卑畏天恩 时间: 2021-7-12 08:25
产品生产速度不快的话用2-3个小型无刷真空泵直接安装在电机转盘上吸附硅晶片。通过导电滑环供电，注意做好动平衡。
产品生产速度快，电机空心轴上加装一个空心柱塞偶件作为真空泵的通气口，柱塞偶件用低蒸汽压的真空泵油作为密封（柱塞偶件配合好，真空泵油基本无消耗），也可以实现高转速。

作者: 谦卑畏天恩 时间: 2021-7-12 08:34
也可以在电机空心轴的下方用两个研磨好的钢制高硬度平面圆盘或是石墨，一头固定在电机轴上，另一头静止。
2头利用适合的弹簧稍微弹紧。有一点漏气也没关系，真空泵流量大一点就行。

作者: 459827194 时间: 2021-7-12 09:02
速度太快，考虑下机械密封+大流量真空发生器

作者: xinshiji666 时间: 2021-7-12 11:36
有专门定做电滑环的厂家，电、气集成在一起，3-4千转问题不大。
如果担心真空泄露，也可以考虑另一种方法，吹气，在出口加一个真空发生器；
再或者用非接触式吸盘，原理就是吹气产生吸附力，可以问问施迈茨、SMC等；
前提是你的环境允许吹气吗？如果不允许只能抽真空了。

作者: 朱威威 时间: 2021-7-12 16:02
电机轴和真空吸盘之间加旋转接头？你先确定这个接头加在哪里吧，图2和图5白色的是真空托盘，金属色的是定位托盘用的小旋转台，这个肯定是要自己做的。刚才我随便找了两个视频，别人转速都做到10000rpm了，你这是不是有点落伍啊
https://haokan.baidu.com/v?vid=4387102265320202827&pd=bjh
https://haokan.baidu.com/v?vid=1 ... thor&type=video

作者: 459827194 时间: 2021-7-12 16:06
SMC 有MQR1 回转接头转速 3000转能满足，可以去咨询下

作者: Godzera711 时间: 2021-7-12 20:39

朱威威发表于 2021-7-12 16:02
电机轴和真空吸盘之间加旋转接头？你先确定这个接头加在哪里吧，图2和图5白色的是真空托盘，金属色的是定位 ...

那这个真空吸附是怎么实现的？您知道吗？小旋转台与电机轴之间是还有一个轴承吗？中间那结构我还没看明白。

作者: Godzera711 时间: 2021-7-12 21:06

朱威威发表于 2021-7-12 16:02
电机轴和真空吸盘之间加旋转接头？你先确定这个接头加在哪里吧，图2和图5白色的是真空托盘，金属色的是定位 ...

第一个视频里的带O型圈的托盘，您知道它的具体结构嘛或者是相关的厂家，还有这个O型圈是为了密封吗？

作者: 重诚WBL 时间: 2021-7-12 21:17
硅片哪个阶段用这么快的转速？插片和清洗用不上吧

作者: Godzera711 时间: 2021-7-12 21:27

重诚WBL 发表于 2021-7-12 21:17
硅片哪个阶段用这么快的转速？插片和清洗用不上吧

湿法刻蚀清洗之后甩干

作者: 重诚WBL 时间: 2021-7-12 21:32

Godzera711 发表于 2021-7-12 21:27
湿法刻蚀清洗之后甩干

在制绒阶段？我们这里就到清洗和插片哈哈

作者: 远祥 时间: 2021-7-13 22:43
这个很相似电气滑环的配件了！

作者: ROTOFLUXCHINA 时间: 2021-7-14 11:04
我这里有真空吸附用的高速旋转接头，最大6000转，电话 13811782875，微信同

作者: 林晖LINHUI 时间: 2021-8-30 17:49
我可以帮助你解决这个旋转接头的问题，可以非标定制，旋转接头在气体和真空方面非常有优势，公司：营口林晖密封技术有限公司，技术交流服务热线：15041784127（微信同步）

作者: ahway 时间: 2021-11-19 18:16
旋转接头（通气）电子行业中常见，比如SMD测试设备中间的那个就是：
(, 下载次数: 47)
SMC、Festo等品牌都有类似的高速旋转接头（过正压、负压均可）： (, 下载次数: 70)

作者: wxagzx 时间: 2023-2-6 11:55
学习一下

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