0.5微米，确定你们的设备测试精度有这么高？正常10微米的测定仪器最便宜也要200W朝上，你们的检测设备莫非造价几千万？
风若寒 发表于 2018-10-17 19:09
这个机器据说属于日本设备里面的低端机型，毕竟是个半自动的嘛，所以是不带光栅尺的，是伺服半闭环控制的 ...
据说那些高精度的机床，好像系统中还增加了一项反向间隙补偿
专业酱油男 发表于 2018-10-18 13:32
0.5微米，确定你们的设备测试精度有这么高？正常10微米的测定仪器最便宜也要200W朝上，你们的检测设备莫非 ...
你开玩笑吧，千分表的精度是多少，多少钱一把？:funk:
iseebb 发表于 2018-10-18 13:05
以前有接触过类似的设备,也是小日本, 据说这种高精度的设备, 仅仅的顶层平台的平面度都能把人搞死. .. 层层 ...
这个是国产设备的玩法，但是我们招的在日本公司干售后的人说，他们的在维修的时候是单独换过DD马达及上门的零件的，也就是说是有零件是互换性的
这个一两句话是说不清楚的。
风若寒 发表于 2018-10-17 19:24
主体部分就是图片这样了，一共有五个轴，有点像磨床吧
您是用什么方式测量直线度的？
您目前是否有采购精密线轨和丝杠的渠道？
我隐约觉得某种方式可以满足您的要求。
个人瞎说说的你看看：你这个图形上看定位精度应该在0.02mm重复精度是你说的0.005mm左右，250mm和160mm的行程这个精度不算高，甚至有点差了，可能是旧设备的原因，现在就是上银丝杠那种P2的应该也不只这个定位精度了，理论上定位在0.008mm/300MM，你这个有0.02了。这么短的行程0.005的重复精度只要装配没什么大问题应该不难。至于直线度这个可以用仪器检测调整只要加工母机ok，这么短的行程应该没问题，这台旧设备这么长时间机械精度平面度还这么好，材质和使用环境的要求就很高了。因为材料会有变形
0.5微米，1微米。怎么测出来的这个精度啊。。。。不敢想象！！！不会单位弄错了吧
guyawei 发表于 2018-10-23 17:03
个人瞎说说的你看看：你这个图形上看定位精度应该在0.02mm重复精度是你说的0.005mm左右，250mm和160mm的行 ...
你说的不对，我们重复定位精度是用激光干涉仪打的，Y轴的重复定位精度是0.5微米以内，另外一台在0.35微米以内，这个是没有问题的，
你说的是整个行程的定位精度，我们说的是重复定位精度，不是一个概念
李涛lt 发表于 2018-10-23 17:22
0.5微米，1微米。怎么测出来的这个精度啊。。。。不敢想象！！！不会单位弄错了吧
重复定位精度是用激光干涉仪打的，直线度和平面度都是千分表打的