画月12 发表于 2017-1-9 16:57:52

求助：谁有快速搬运晶圆的那种结构，非常感谢！

      谁有快速搬运晶圆的那种摆臂旋转机构，速度非常快的那种，搬运蓝膜上面切好的那一个个晶圆。听他们说用音圈电机的。有的话请跟帖联系，必有重谢！
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