wrn 发表于 2022-12-15 15:13:07

栖格玛 发表于 2022-3-19 21:31
结构和你的类似，只是细节不一样搜索日本骏河可以看到

这个日本骏河也是MISUMI旗下的？

老菜鸟168 发表于 2022-12-15 21:51:07

之前搞过亚微米，几百纳米那种，压电陶瓷+气浮平台，楼主这个看来要更难一点。

xfxywzy 发表于 2023-3-2 15:17:12

我最近也在找类似的产品，应用场景跟你类似，50nm的分辨率，但我们希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以参考PI这家厂商的产品，我们选了一款分辨率0.1nm,行程15um的压电轴，同时现在直线电机现在也可以做到1nm的步进，我也是在学习和了解中，马上准备拿样品来测试。

xfxywzy 发表于 2023-3-8 18:04:26

xfxywzy 发表于 2023-3-2 15:17
我最近也在找类似的产品，应用场景跟你类似，50nm的分辨率，但我们希望能做到1nm的分辨率。目前市面上可以 ...

位移台的精度，目前我知道有可以做到1nm步进的 行程100mm. 目前我们刚拿到一个样品在研究，品牌PI的。一套大概10W RMB。

xzx7869520 发表于 2023-11-2 19:59:09

这类我们都用压电台子了，光学检测行业

清风烈月 发表于 2024-12-11 17:13:35

磁驱平面电机
页: 1 2 3 [4]
查看完整版本: 纳米位移台研发